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加熱防腐型勻膠機 測試標(biāo)準(zhǔn)

更新時間:2025-08-23

訪問量:17

廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家

生產(chǎn)地址:

簡要描述:
加熱防腐型勻膠機 測試標(biāo)準(zhǔn)加熱防腐型旋轉(zhuǎn)涂覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和的耐腐蝕性,能夠用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。儀器采用先進(jìn)的精密電機,轉(zhuǎn)速能達(dá)到 12000 轉(zhuǎn)/分,有效的保障了成膜的均勻性。
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加工定制

加熱防腐型勻膠機  測試標(biāo)準(zhǔn)

加熱防腐型勻膠機  測試標(biāo)準(zhǔn)


加熱防腐型勻膠機

?

一、技術(shù)原理與核心參數(shù)

加熱防腐型旋轉(zhuǎn)涂覆儀采用聚四氟乙烯腔體,外觀美觀堅固,具有優(yōu)良的化學(xué)穩(wěn)定性和的耐腐蝕性,能夠用于各種需要抗酸堿和有機溶劑的場合。儀器采用先進(jìn)的精密電機,轉(zhuǎn)速能達(dá)到 12000 轉(zhuǎn)/分,有效的保障了成膜的均勻性。除了基本的旋涂功能,本品還配有加熱組件,可以加熱到 200℃,由智能溫控表控溫,溫度測定準(zhǔn)確,升溫過程可控。另外本儀器采用觸控屏控制,可以預(yù)設(shè)勻膠曲線,大大簡化了使用過程降低了學(xué)習(xí)成本,十分適合實驗室選購。

、關(guān)鍵性能參數(shù)

?項目?

?參數(shù)要求?

控制系統(tǒng)?

PLC控制系統(tǒng)

操作界面?

彩色7寸觸摸屏,中英文切換?

速度范圍

0~ 12000rpm,精度±1

加速度

100~8000rpm/s(空載)

腔體材質(zhì)

聚四氟乙烯

加熱溫度

室溫+200℃?

傳動機構(gòu)

精密電機+驅(qū)動器和高精度步進(jìn)電機,傳動穩(wěn)、噪音??;

控溫方式

AIP 智能控溫

滴膠方式

精密注射泵(0.01~5ml ,精度士 1% ,防回流設(shè)計)

勻膠曲線

每條曲線 1000 段,共可儲存 30 條曲線

數(shù)據(jù)

支持 USB 導(dǎo)出數(shù)據(jù)

抽氣接口

φ6mm 快擰接口

無油真空泵

50L/min,

勻膠吸盤

?10mm,?25mm,?55mm,?100mm聚四氟材質(zhì)

打印機

嵌入式微型打印機

電壓電流

AC220V50Hz

外形尺寸

310mm×365mm×350mm

重量

15kg

三,應(yīng)用領(lǐng)域

?光電子學(xué)領(lǐng)域?:用于制備太陽能電池、有機發(fā)光二極管(OLED)、有機太陽能電池(OPV)等器件的薄膜涂層?;

?半導(dǎo)體與微電子制造?:適用于光刻膠旋涂、晶圓表面涂布等工藝,支持最大12英寸晶圓處理?;

?材料科學(xué)?:可制備金屬、半導(dǎo)體、氧化物及聚合物等材料的均勻薄膜,尤其適合需要抗酸堿和有機溶劑的實驗環(huán)境?

?生物醫(yī)學(xué)領(lǐng)域?:用于生物傳感器、生物芯片的涂層制備,聚四氟乙烯腔體設(shè)計確保化學(xué)穩(wěn)定性與耐腐蝕性?;

?納米科技?:支持納米材料與納米薄膜的制備,高精度控溫(室溫-200℃)和轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)(10-12000轉(zhuǎn)/分鐘)保障工藝穩(wěn)定性?。

四、基礎(chǔ)操作流程

?A安裝與準(zhǔn)備?

?連接設(shè)備?

連接真空泵氣管與電源線,確保螺帽擰緊?。

插入設(shè)備電源線并打開總開關(guān)?。

?安裝吸盤與片托?

根據(jù)樣品尺寸選擇吸盤,對準(zhǔn)槽口安裝并固定螺絲?。

將片托凹槽對準(zhǔn)電機軸頂絲垂直放置?。

B參數(shù)設(shè)置?

?選擇勻膠方案?

進(jìn)入操作界面,選擇預(yù)設(shè)方案(如5段式參數(shù))或自定義參數(shù)?。

?設(shè)置轉(zhuǎn)速、時間與加速度?

示例:第一段速度2000轉(zhuǎn)/分鐘,時間20秒,加速度2000?1。

分段設(shè)置(如第二段3500轉(zhuǎn)/分鐘,第三段10000轉(zhuǎn)/分鐘)?。

?溫度控制(如需加熱)?

設(shè)置溫度范圍(0-200℃),支持手動或自動加熱模式?。

C旋涂操作?

?放置樣品?

將基片居中放置于片托,啟動真空泵吸附固定?。

?啟動勻膠?

轉(zhuǎn)速穩(wěn)定后注入膠液,程序自動分段執(zhí)行?

?完成與清潔?

等待轉(zhuǎn)速歸零,關(guān)閉真空泵并取出樣品?

定期清潔抽氣孔(滴酒精維護(hù))?。

D注意事項?

?防腐設(shè)計?:聚四氟乙烯腔體可耐酸堿腐蝕,避免接觸強氧化劑?

?安全防護(hù)?:加熱模塊高溫,操作時勿觸碰?。

五、合規(guī)性要求(核心標(biāo)準(zhǔn))

六、儀器特點

?1. 防腐設(shè)計?

腔體材質(zhì)采用?聚四氟乙烯(PTFE??聚丙烯(PP?,抗強酸、強堿及有機溶劑腐蝕?

部分機型配備?防濺廢料罐??排液管?,防止腐蝕性液體污染環(huán)境?。

?2. 加熱與溫控功能?

加熱范圍覆蓋?室溫至200℃?,控溫精度±1-2℃,適用于高溫工藝(如光刻膠烘烤)?。

支持?分段控溫?,部分機型集成?抽廢氣功能?,確保工藝穩(wěn)定性?

?3. 高精度勻膠性能?

轉(zhuǎn)速范圍?10-20000轉(zhuǎn)/分鐘?,電機采用無刷伺服或德國進(jìn)口電機,保障薄膜均勻性(厚度誤差±1%?。

部分機型支持?正反轉(zhuǎn)旋涂??分段編程?,優(yōu)化復(fù)雜工藝需求?。

?4. 智能化操作?

配備?觸摸屏控制?、藍(lán)牙通信及PC端遠(yuǎn)程控制軟件,支持配方存儲與掉電保護(hù)?。

實時顯示?轉(zhuǎn)速曲線?、吸附力及報警功能(如進(jìn)膠保護(hù)、吸附不足互鎖)?。

?5. 安全與兼容性?

透明耐腐蝕蓋板(丙烯酸材質(zhì))隔絕有毒氣體,部分機型適配手套箱使用?

適配半導(dǎo)體、光電子等領(lǐng)域?。

七,配置清單

主機1臺;

測試軟件1套;

說明書1;

合格證1;

保修卡1;

簽收單1;

銘牌1;

電源線1;

扳手1;

宣傳冊若干;





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